Journal des nanomatériaux et de la nanotechnologie moléculaire

Nanolithographie

La nanolithographie est la branche de la nanotechnologie concernée par l'étude et l'application de la fabrication de structures à l'échelle nanométrique et l'art de la gravure, de l'écriture ou de l'impression au niveau microscopique. Les dimensions des caractères sont de l'ordre du nanomètre. Les instruments utilisés en nanolithographie comprennent le microscope à sonde à balayage (SPM) et le microscope à force atomique (ATM). Le SPM permet de visualiser la surface dans les moindres détails sans nécessairement la modifier. Le SPM ou l'ATM peuvent être utilisés pour graver, écrire ou imprimer sur une surface dans les dimensions d'un seul atome. La nanolithographie est utilisée par exemple lors de la nanofabrication de circuits intégrés semi-conducteurs de pointe (nanocircuits), pour les systèmes nanoélectromécaniques (NEMS) ou pour presque toute autre application fondamentale dans diverses disciplines scientifiques de la nanorecherche. Cette technologie peut être utilisée dans la nanofabrication de divers circuits intégrés (CI) semi-conducteurs, NEMS et pour diverses applications en recherche.