La nanofabrication est la conception et la fabrication d'appareils dont les dimensions sont mesurées en nanomètres. Un nanomètre équivaut à un millionième de millimètre. Les sujets d'intérêt pour la nanofabrication sont tous les aspects des méthodes lithographiques visant l'échelle submicronique à nanométrique, et l'application des structures et dispositifs créés dans des expériences physiques et biomédicales. La nanofabrication intéresse les ingénieurs informaticiens car elle ouvre la porte à des microprocesseurs et à des puces mémoire à très haute densité. Il a été suggéré que chaque bit de données pourrait être stocké dans un seul atome. La division de la nanotechnologie qui implique l'étude et l'application des nanostructures est appelée Nanofabrication. Ces dernières années, des développements importants ont été réalisés dans les méthodes utilisées pour fabriquer des dispositifs à l'échelle nanométrique. Les méthodes comprennent la lithographie par faisceau électronique, le dépôt de couches atomiques et le dépôt moléculaire en phase vapeur. Ces techniques sont toutes des extensions du progrès scientifique général, par opposition aux méthodes conçues dans le seul but de fabriquer des nano-dispositifs.
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