Journal des nanomatériaux et de la nanotechnologie moléculaire

Caractérisation morphologique des nanointerconnexions formées à l'interface de nanotubes de carbone multiparois revêtus de Sn sur un masque de gravure modelé sur un substrat de Si

Mohanty US, Lin CI et Lin KL 

Des composites de nanotubes de carbone multiparois revêtus d'étain (SnO2/MWCNT) ont été synthétisés par précipitation de SnCl2 dans une suspension de CNT dans la première étape. Une technique de dispersion efficace utilisant l'acide trifluoroacétique (TFA) a été utilisée pour la dispersion homogène de nanotubes de carbone multiparois revêtus d'étain (MWCNT) sur un masque de gravure à motifs sur une plaquette de Si en utilisant l'AZ 1500 comme photorésist. La suspension de MWCNT a été dispersée de manière homogène sur la plaquette de Si à motifs et la formation de nano-interconnexions ou de nanojoints a été clairement établie par spectroscopie électronique à transmission haute résolution (HRTEM). Les images de microscopie électronique à transmission haute résolution (HRTEM) ont démontré que les nano-interconnexions formées entre deux MWCNT étaient constituées à la fois de Sn tétragonal et de SnO2 orthorhombique. L'étain élémentaire a été observé à l'interface de deux nanotubes de carbone multiparois par réduction de SnO2/MWCNT sous atmosphère de refusion. L'interaction interfaciale entre les couches de graphène dans les nanotubes de carbone et les oxydes métalliques Sn a également été étudiée. Des études de spectroscopie Raman ont établi l'interaction interfaciale entre les MWCNT et le Sn métallique. Les résultats ont révélé que la forte interaction entre les MWCNT et le Sn abaissait le rapport ID/IG dans les MWCNT. Les nanotubes de carbone multiparois se sont avérés bien connectés les uns aux autres sur le masque à motifs et ce phénomène pourrait apporter un nouvel éclairage sur la conductivité des nanotubes de carbone dans les circuits électroniques.