Journal de la science de l'énergie nucléaire et de la technologie de production d'électricité

Caractéristiques opérationnelles d'une source d'ions à pulvérisation cathodique à faible énergie

Hikmat A Hamad, Nibras F Ali et Haitham M Farok

Caractéristiques opérationnelles d'une source d'ions à pulvérisation cathodique à faible énergie

Dans ce travail, une source d'ions Freeman modifiée, utilisée pour la pulvérisation ionique, est conçue et construite. Le choix de cette source d'ions a été basé sur son succès remarquable dans l'industrie des semi-conducteurs utilisant des techniques d'implantation ionique. Une description technique détaillée de la conception et de la fabrication de la source d'ions est donnée. Des mesures de courant d'émission thermoionique ont été effectuées et les caractéristiques de décharge de la source d'ions ont été étroitement surveillées. De plus, les effets de certains paramètres tels que la tension de pulvérisation, la pression, l'intensité du champ magnétique, la tension de l'arc et le courant du filament sur la valeur du courant de l'électrode pulvérisée ont été étudiés. Il a été constaté que ces paramètres peuvent être modifiés indépendamment, ce qui nous permet de contrôler le fonctionnement de la source d'ions et le processus de pulvérisation. Les principaux résultats des faisceaux d'ions extraits, à l'aide d'une simple plaque d'extraction en acier inoxydable, montrent une réduction du courant total du faisceau d'ions détecté lors du processus de pulvérisation.